Počet kreditů 4
Vyučováno v Zimní a letní
Rozsah výuky 2P+2C
Garant předmětu
Přednášející Miroslav Husák
Cvičící Miroslav Husák

Základní pojmy a rozdělení mikrosystémů, mikrosenzory, mikroaktuátory, zpracování signálu v systému, MEMS (mikro-elektro-mechanické strukutry), MOES (mikro-opticko-elektrické struktury), MEMOS (mikro-elektro-mechano-optické struktury), navrhování mikrosystémů, modelování mikrosystémů, technologie výroby, materiály, aplikace v průmyslu a medicíně. \\Výsledek studentské ankety předmětu je zde: http://www.fel.cvut.cz/anketa/aktualni/courses/XP34MSY

  1. Základní pojmy a rozdělení mikrosystémů
  2. Mikrosystémy v evropském výzkumu a uplatnění na trhu
  3. Mikrosenzory
  4. Mikroaktuátory
  5. Zpracování signálu v systému
  6. MEMS (mikro-elektro-mechanické struktury
  7. MOES (mikro-opticko-elektrické struktury)
  8. MEMOS (mikro-elektro-mechano-optické struktury)
  9. Navrhování mikrosystémů
  10. Modelování mikrosystémů
  11. Technologie výroby
  12. Materiály
  13. Aplikace v průmyslu
  14. Aplikace v medicíně

1. Beeby,S., Ensell,G., Kraft,M., White,N.: MEMS Mechanical Sensors. Artech House, Boston, 2004.
2. Pelesko,J.A., Bernstein,D.H.: Modeling MEMS and NEMS. Chapman & Hall/CRC, Boca Raton, 2003.
3. Varadan,V.K., Vinoy,K.J., Jose,K.A.: RF MEMS and their applications. Wiley, Chichester, 2003.

Rozvrh předmětu
Po
Út
St
Čt
PřednáškyCvičení